超聲波清洗是否會(huì)損傷晶圓表面的Low-k介電層?
587超聲波清洗在合理控制參數(shù)的情況下不會(huì)損傷晶圓表面的Low-k介電層,但若頻率過低或功率過高可能導(dǎo)致?lián)p傷。以下是具體分析: 超聲波清洗對(duì)Low-k介電層無(wú)損傷的原理 空化效應(yīng)的可控性:超聲波清洗通過高頻聲波在清...
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